PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우; 김형준

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저자정보: 김선우 김형준

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제3회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1992.7

수록면: 57 - 60 (4page)

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김선우

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김형준

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