KOH 이방성 식각을 이용한 Ti - 실리사이드 전계방출 소자 연구

김성배; 전형탁; 최성수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김성배 전형탁 최성수

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 61 - 61 (1page)

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김성배

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 15

전형탁

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 15

최성수

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 9 이용수 102

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018033018

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