PSII(Plasma Source Ion Implantation)와 PN(Plasma Nitriding)으로 제조한 AlN의 특성 분석

심연근; 김윤기; 김건우; 이근호; 한승희

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저자정보: 심연근 김윤기 김건우 이근호 한승희

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 196 - 196 (1page)

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