Plasma source ion implantations for shallow junction

조정희 ,  한승희 ,  이연희 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

PSII (Plasma Source Ion Implantation) - Applications & Perspective -

John R. Con ,  ad

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

The effects of plasma exposure and annealing ambient on shallow junction formation using PSII

J. H. Cho ,  S. H. Han ,  Y. H. Lee 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

PSII(Plasma Source Ion Implantation)와 PN(Plasma Nitriding)으로 제조한 AlN의 특성 분석

심연근 ,  김윤기 ,  김건우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Plasma Source Ion Implantation - A Three Dimensional Ion Implantation Technique

Seunghee Han ,  Haidong Kim ,  Yeonhee Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

PSII(plasma source ion implantation)법을 이용하여 이온주입 된 금속박막층과 유연성기판 사이에 대한 연구

조본구 ,  이택영 ,  김용진

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Plasma Source Ion Implantation using High Power Pulsed RF Plasma

Seunghee Han ,  Yeonhee Lee ,  Youngwoo Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

A Study of PSII Treatment on Polymeric Materials in Comparison with Plasma Treatment

Yeonhee Lee ,  Seunghee Han ,  Jung-Hyeon Yoon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION OF NITROGEN AND CARBON IONS INTO CO - CEMENTED WC

SEUNGHEE HAN ,  aYEONHEE LEE ,  JUNGHYE LEE 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Development of High Flux Metal Ion Plasma Source for the Ion Implantation and Deposition

Do-Yun Kim ,  Eui-Wan Lee

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2003 .12

POLYMER SURFACE MODIFICATION USING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION

SEUNGHEE HAN ,  YEONHEE LEE ,  JUNGHYE LEE 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Non-gaseous Plasma Immersion Ion Implantation and Its Applications

Seung Hee Han ,  Enkyeom Kim ,  Won Woong Pa 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Improvement of Hydrophilicity of Various Polymer Surfaces Using Plasma Source Ion Implantation

Yeonhee Lee ,  Seunghee Han ,  Jung-Hye Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

PSII 펄스 시스템의 동적 플라즈마 부하 회로 모델 개발

정경재 ,  최재명 ,  황휘동 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2006 .05

Plasma Immersion Ion Implantation을 적용한 알루미늄합금의 방열 및 내부식특성에 관한 연구

김정효 ,  김승진 ,  차병철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

B10H₁₄을 이용한 ultra shallow - junction 형성 및 전기적 특성

송재훈 ,  송종한 ,  이준엽 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Surface properties of polystyrene ionomers treated by plasma source ion implantation

Hyuneui Lim ,  Yeonhee Lee ,  Seunghee Han 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

이온 주입 공정시 발생한 실리콘 내 결함의 제어를 통한 p+ - n 초 저접합 형성 방법

이길호 ,  김종철

Applied Science and Convergence Technology

1997 .11

ENHANCEMENT OF HYDROPHOBIC PROPERTY OF DIAMOND - LIKE - CARBON FILMS USING PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION TECHNIQUE

SEUNGHEE HAN ,  YEONHEE LEE ,  JUNGHYE LEE 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Plasma source ion implantations for shallow p+/n junction

Jeonghee Cho ,  Seunghee Han ,  Yeonhee Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02