Thermal CVD법을 이용한 3C - SiC / 6H - SiC 이종박막 성장

장성주; 박주훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 장성주 박주훈

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제20회 학술발표회초록집

발행연도: 2001.2

수록면: 149 - 149 (1page)

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2001

Thermal CVD법을 이용한 3C - SiC / 6H - SiC 이종박막 성장

장성주 , 박주훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

1997

Thermal CVD 방법에 의한 SiC 동종박막 성장에 관한 연구

장성주 , 설운학 , 정준익 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료

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