Low temperature epitaxial growth of 4H-SiC thin films by chemical vapor deposition using bis-trimethylsilylmethane precursor

Jeong ,  Jae-Kyeong ,  Na 외 7명

한국결정학회 학술연구발표회

2000 .01

Synthesis of β - SiC nanowires by Catalytic Chemical Vapor Deposition

Hwa Young Kim ,  Jeunghee Pa ,  k

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Field emission characteristics of SiC nanowires synthesized by chemical vapor deposition

최영진 ,  김동완 ,  최경진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

The Influence of Hydrogen Intercalation on the Nanomechanical Properties of Epitaxial Graphene on SiC Substrates

Sangku Kwon ,  Jae-Hyeon Ko ,  G. E. Yang 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Deposition of SiC films with single source for MEMS applications

S. -H. Nam ,  J. -S. Hyun ,  J. -H. Pa 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Epitaxial growth of MoS₂ on c-sapphire by metal-organic chemical vapor deposition

Hokwon KIM ,  Dmit ,  y OVCHINNIKOV 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

열 화학기상증착법을 이용한 탄화규소 나노선의 합성 및 특성연구

정민욱 ,  김민국 ,  송우석 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2010 .07

플라즈마를 이용한 β-SiC 나노분말 개발과 SiC 물질 수요량

유인근 ,  유석재

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Thermal CVD법을 이용한 3C - SiC / 6H - SiC 이종박막 성장

장성주 ,  박주훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

승화법에 의한 6H-SiC 단결정 성장

신동욱 ,  김형준

한국결정학회지

1990 .01

SiC 나노분말 분석과 그 특성연구

유인근 ,  김성훈 ,  김명찬

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

고온 고압용 SiC 필터의 개발에 관한 연구 ( A Study on the Development of HTHP SiC filters )

최종인 ,  문수호 ,  홍민선

한국대기환경학회 학술대회논문집

1999 .05

Characteristics of GaN epitaxial layer grown on 6H - SiC(0001) by RF - Molecular Beam Epitaxy

원상현 ,  정관수 ,  조학동 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

플라즈마를 이용한 SiC 합성원리 및 특성분석

유인근 ,  유석재

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Geometrical and Electronic Structure of Epitaxial Graphene on SiC(0001) : A Scanning Tunneling Microscopy Study

Jeonghoon Ha ,  Heejun Yang ,  Hongwoo Baek 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

SiC를 이용한 micro lens 공정

이효영 ,  김동우 ,  경세진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

4H-SiC 위에 증착 방법으로 SiO₂ 산화막을 형성한 metal-oxide-semiconductor 캐패시터의 전기적 특성 분석

이수형 ,  김영석 ,  김지민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

SiC 세라믹 필터를 이용한 고온 고압 하에서의 집진기술에 관한 연구 ( An Investigation of High Temperature and High Pressure Gas Filtration Technology Using SiC Ceramic Filters )

문수호 ,  홍민선 ,  이동섭 외 1명

한국대기환경학회 학술대회논문집

1998 .01

Epitaxial growth of InN on GaN by metalorganic chemical vapor deposition

서희찬 ,  김현진 ,  나현석 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Single source CVD of epitaxial 3C - SiC on Si(111) without carbonization

Kyung-Won Lee ,  Kyu-Sang Yu ,  Jung-Wook Bae 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1997 .06