지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
DC Reactive Magnetron Co-Sputtering 방법을 이용한 Cu-TiN Composite 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
RF - Magnetron Sputtering 법을 이용한 Indium - Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
DC Magnetron Sputtering법으로 제작한 TiN박막의 밀착력과 계면조직에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF magnetron sputtering법으로 성장시킨 ZnO박막의 광특성과 grain size의 영향에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Unbalanced magnetron을 이용한 Titanium Nitride 박막합성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
DC MAGNETRON SPUTTERING 법에 의한 IT 로 제작한 ITO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
Unbalanced B-field 인가에 따른 HIPIMS (high power impulse magnetron sputtering) 증착 Al:ZnO 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
빗각 증착 기술과 이를 이용한 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
플라즈마 진단을 통한 플라즈마와 TCO박막 특성간의 상관관계 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Kinetic Simulation of Magnetron Sputter
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Magnetron sputtering법을 이용하여 합성한 다층 카본 박막의 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Modulated Sputtering System (MSS)을 이용한 박막 증착 및 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
High Density Plasma Sputtering System (HIPASS) 방법을 통한 TiN 박막 증착 및 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
0