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DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
DC MAGNETRON SPUTTERING 법에 의한 IT 로 제작한 ITO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
DC Reactive Magnetron Co-Sputtering 방법을 이용한 Cu-TiN Composite 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Unbalanced Magnetron Sputtering을 이용한 TiN 박막 성장 및 플라즈마 변수의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Diamond 박막의 밀착력 향상에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
RF - Magnetron Sputtering 법을 이용한 Indium - Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
DC Magnetron Sputtering법으로 제작한 ITO 투명전도막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
DC / RF Magnetron Sputtering Deposition법에 의한 TiSi₂ 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질
한국자기학회지
1993 .06
N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Morphological Structural and Electrical Properties of DC Magnetron Sputtered Mo Thin Films for Solar Cell Application
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Two-Dimensional DC Magnetron Sputtering Simulator for Cylindrical Rotating Target
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
RF magnetron sputtering으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
DC reactive sputtering 방식으로 Ti 버퍼층 위에 형성 시킨 TiN 박막의 특성 변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
DC Magnetron sputtering의 Al₂O₃ 2wt.% doped ZnO 박막 성장의 DC파워와 온도와의 상관관계에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
PZT Sputtering Target제작과 RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 PZT박막제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
Automation of dc magnetron sputtering system using real-time thickness monitor
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2019 .11
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