Deposition of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Characterization of Their Properties on Different O₂ Concentrations

S. H. Jeong ,  Y. S. Shin ,  I. S. Bae 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Growth of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Study of Their Surface Characteristics

Yong Sup Sin ,  In Seob Bae ,  Hyon Tae Kwak 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

The Structural and Physical Properties of Ti films by RF magnetron sputtering

송용화 ,  정충경 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Deposition and characterization of $CaAl_2O_4:Eu^{2+}$ thin films by rf magnetron sputtering method

Lee ,  Choong-Ki ,  Lee 외 3명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Fabrication and characterization of half - metallic (Fe₃O₄) thin film using a RF magnetron sputtering system

이성복 ,  홍진표 ,  김채옥 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Bias effect on the chemical structure and hardness during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

노기민 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

High rate deposition of poly - si thin films using new magnetron sputtering source

Jin-Hyo Boo ,  Heon Kyu Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Structural and Optical Properties of CdS Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Fabrication and characterization of Zn-O-Ga structures by RF magnetron co-sputtering method

황창수 ,  박인철 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Characterization of Al-doped ZnO thin film grown on buffer layer with RF magnetron sputtering method

노영수 ,  이상엽 ,  김태환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF magnetron sputtering법으로 제작된 AZO 박막의 특성 연구

이승민 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

다용도 DC / RF 스퍼터링 시스템 설계

김명길 ,  유운종

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07