Modeling and Experimental Study of Radio-frequency Glow Discharges and Applications for Plasma Processing

Namjun Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Power Dissipation in a RF Capacitively Coupled Plasma

T. H. T ,  an ,  S. J. You 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Control of spatial distribution of plasma density by the variable capacitor in a capacitively coupled plasma

Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Frequency dependence of electron energy distribution function and plasma parameters in capacitively coupled argon discharge

안승규 ,  유신재 ,  장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

대면적 Capacitively Coupled Plasma에서 Multi power feeding에 따른 Plasma uniformity 변화

유광호 ,  나병근 ,  유대호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Hybrid simulations for discharge plasma

이현수 ,  김웅 ,  이해준 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Microtrenching of SiO₂ contact hole etching in C₄F₈/Ar capacitively coupled plasma

S. J. Kim ,  J. J. Lee ,  H. J. Yeom 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

2D GPU-PIC을 이용한 Capacitively Coupled Plasma 장비 내에서 발생하는 Micro-arc 현상 연구

김창호 ,  허민영 ,  김진석 외 1명

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2018 .02

Rapid development of superhydrophobic surface using atmospheric pressure uniform glow discharge plasma

Duksun Han ,  Soo ,  yun Noh 외 1명

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2014 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Capacitively Coupled, RF Excited CH₄ Plasma 에서의 Particle 발생및 그 특성에 관한 연구

연충규 ,  황기웅

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber

김호준 ,  이승무 ,  원제형

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2014 .02

Plasma Diagnostics using Optical Emission Spectroscopy on Argon Capacitively Coupled Plasma with Various Line-of-Sight

Jaemin Song ,  Jongsik Kim ,  Dae Chul Kim 외 6명

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2019 .08

Research on the Multi-electrode Plasma Discharge for the Large Area PECVD Processing

Yun-Seong Lee ,  Dae-Ho You ,  You-Bin Seol

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2012 .02

Measurement of characteristics of plasma discharge in liquid

Ju-Sung Kim ,  Boo-Ki Min ,  Seong-Oun Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Transport Modelling on High Density Plasma Discharge with New Algorithm

Choe Hee-Hwan ,  N.S.Yoon ,  Duk-In Choi

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2000 .02

CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation

유동훈

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2008 .08

Numerical Modeling of Floating Electrodes in a Plasma Processing System

Junghoon Joo

Applied Science and Convergence Technology

2015 .07

Glow Discharge Techniques in Analytical Chemistry

Sehoon Jung ,  Sun Hye Kim ,  Sung wook Jung 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2015 .05

Initial Study of Electron Temperature and Density Simulation on Capacitively Coupled RF He Plasma

Deokho Hwang ,  Sanghyeok Pa ,  k 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08