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Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
TMOS / O₂/ N₂(N₂O) ICP - CVD법을 이용한 SION 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
ICP CVD에 의해 증착된 비정질 및 마이크로크리스탈라인 실리콘 박막의 이종접합 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
HDP - CVD 방법으로 증착한 Si - O - C(-H) 박막의 구조분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
ICP - CVD 방법에 의한 TiN Diffusion Barrier Thin Film형성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
새로운 Ge 전구체의 CVD 증착 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술
진공이야기
2014 .09
ICP-MS와 LA-ICP-MS를 이용한 보다 효율적인 미량원소 분석법 연구
대한지질학회 학술대회
2013 .10
CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
TDEAT 단일 증착원을 이용한 TiN박막의 CVD Cu에 대한 확산 방지 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
사이클릭 화학 기상 증착법 (C-CVD: Cyclic Chemical Vapor Deposition) 기술을 이용한 코발트(Cobalt) 박막의 성장 거동
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Rare Earth Elements analysis in monazite using Na2O2 sintering and by ICP-MS and ICP-OES
한국분석과학회 학술대회
2015 .11
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
최근의 투명 박막증착기술의 동향
포장계
1999 .01
Generation of Charged Silicon Nanoparticles and their Deposition into Crystalline Films using DC-Biased Substrate in Silane ICP-CVD Process
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정 박막 형성 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
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