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ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
이종접합 박막 태양전지 적용을 위한 비정질 실리콘의 인듐 확산에 대한 기판온도의 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
기판 세정공정 변화에 따른 실리콘 웨이퍼/비정질 실리콘 박막 나노계면 및 이종접합 태양전지 소자 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
비정질 실리콘 박막을 이용한 이종접합 태양전지(HIT solar cell)의 표면 패시베이션에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
PES 기판위에 Sputter 증착된 비정질 실리콘 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
비정질 실리콘 박막의 2차 전자 방출계수 γ 의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
PECVD 를 이용한 비정질 실리콘 박막의 Adhesion 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
rf-magnetron sputter 증착기술을 이용한 태양전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
TMOS / O₂/ N₂(N₂O) ICP - CVD법을 이용한 SION 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser 결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정 박막 형성 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser Crystallization
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
HDP - CVD 방법으로 증착한 Si - O - C(-H) 박막의 구조분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
H₂ gas flow rate가 비정질 실리콘 박막 태양전지의 i-layer에 미치는 영향에 대한 simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
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