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대면적 TCP에서 티끌입자의 성장 및 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
SiH₄+H₂ 대한 플라즈마 장치의 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
충돌 플라즈마(collisional plasma)에서 티끌입자의 트랩형성과 그 조건에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
DC 방전으로 발생된 플라즈마 내 나노입자 밀도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
저압에서의 사일렌과 디사일렌의 열분해 반응에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1995 .12
Process Optimization of PECVD SiO2 Thin Film Using SiH4/O2 Gas Mixture
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
특정 및 분석(기체/입자반응)
한국대기환경학회 학술대회논문집
2002 .10
평판형 유도결합 플라즈마 장치의 SiH₄/H₂ 방전에 대한 공간 평균 전산모사
Applied Science and Convergence Technology
2009 .11
유도 결합 Ar/SF6 혼합 기체 방전에서의 전자 에너지 분포 측정을 통한 플라즈마 변수 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
저전력 홀추력기 플라즈마 진단 및 방전특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Characteristics of Oxide Films Deposited with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition at Low Temperatures From SiH₄-N₂O
Applied Science and Convergence Technology
1994 .12
고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 SiH₄/O₂/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이중 미세공음극 방전을 이용한 기체방전램프의 효율 향상 및 방전 전압 강하
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
RF방전에서의 Micro-arcing에 의한 플라즈마 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
평판 용량 결합형 RF 방전 플라즈마 내 미세 오염 입자의 발생및 행동양식
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
플라즈마 화학증착법으로 제조된 수소화된 비정질 탄화실리콘 박막의 물성에 대한 붕소의 도핑효과
Applied Science and Convergence Technology
2001 .04
고밀도 유도 결합 플라즈마 장치의 SiH₄/O₂/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 개발
Applied Science and Convergence Technology
2008 .09
대면적 방전셀을 적용한 AC PDP의 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Gas phase diagnostics of high-density SiH₄/H₂ microwave plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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