PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser 결정화

고무순; 정희석; 노재상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 고무순 정희석 노재상

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제23회 학술발표회초록집

발행연도: 2002.6

수록면: 83 - 83 (1page)

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소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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노재상

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