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반도체 제조 공정 중 플라즈마 반응기 내에서 입자 오염을 유발하는 미립자들의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
톨루엔-TEOS 복합 플라즈마 폴리머 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
냉음극 변압기 플라즈마와 TEOS 소스를 이용한 SiO₂박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Discrete - Sectional 모델에 의한 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장 예측
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Remote방식의 대기압 플라즈마 장치를 이용한 SiO₂ 박막 증착 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
SiO₂ 위의 금 나노박막 열응집에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
E-beam evaporation을 이용하여 Si 기판위에 다양한 각도에 따라 성장된 SiO2 박막특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
용액인상법에 의한 파라텔루라이트 $(TeO_2)$ 단결정 육성
한국결정학회지
1995 .01
냉음극 변압기 플라즈마와 액체 소스를 이용한 p-SiO2 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
SiO₂ 박막의 이차전자 방출계수 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
SiO₂ 제로겔 박막의 기공율 변화가 저유전특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
발광특성을 가지는 실리콘 나노 미립자 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Nano-Indenter 측정 결과를 Weibull 분포로 해석한 ACP 플라즈마 소스의 플라즈마 에칭 조건에 따른 균일도 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Model Study of TiO₂-SiO₂ Mixed Oxide Surfaces and its Application to Photoactive Materials
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각의 SiO2 두께 변화 해석 모델
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
SiO₂ / TiO₂ 다층박막 구조의 광필터 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
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