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In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
대기압 플라즈마와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
대기압 플라즈마 밀도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
대기압 멀티 플라즈마 소스제작 및 방전 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
대기압 플라즈마에 의한 ZrO2 박막 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
저온 대기압 플라즈마 발생 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
대기압 멀티 플라즈마 젯 소스의 균일한 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
캐패시턴스 측정을 통한 대기압 플라즈마 젯 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
대기압 플라즈마 소스와 활용
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
대기압 멀티 플라즈마 소스의 균일한 방전에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge 방식의 유도형 대기압 플라즈마를 이용한 SiO₂ 식각에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Flexible FPD의 확산방지막으로 적용키 위한 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 SiO₂ 박막 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
대기압 플라즈마 처리에 의한 액체 시료의 전기적 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
대기압 플라즈마 처리를 통한 촉매입자의 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
젯 어레이 형 대기압 플라즈마의 처리 방식이 자궁경부암 세포에 미치는 영향 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
원거리 플라즈마 화학증착법에 의한 저온 이산화규소 박막의 증착에서 기상반응의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
대기압 플라즈마 정밀 Etching 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
정전용량 변화를 이용한 대기압 제트 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
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