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비정질 탄소막 (a-C:H) 내에 존재하는 수소에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
PECVD법에 의한 비정질 실리콘 질화막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
Development and characterization of porous carbon membrane
한국분석과학회 학술대회
2012 .05
PECVD 공정에 의한 유기 금속계 중간층과 비정질 탄화수소층의 저마찰 코팅 개발에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Si₃N₄상에 PECVD법으로 형성한 텅스텐 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
PECVD 를 이용한 비정질 실리콘 박막의 Adhesion 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD법에 의한 다성분 Fe - O계 박막 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
PECVD로 성장된 a - Si₁-xCx : H 박막의 광학적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Electrical properties of HfOxNy thin films deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
메탄, 메탄 - 수소 및 메탄 - 아르곤 플라즈마로 부터 합성된 다이아몬드성 탄소막
Applied Science and Convergence Technology
1995 .03
PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
비정질 Si박막의 고상결정화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
PECVD 기법에 의해 제조된 nc-Si : H 박막의 나노 구조적 특성
한국결정학회지
2003 .01
Optimization and Application of Si-DLC Coating with Low Friction and High Hardness Property by Using PECVD Method
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
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