기판온도에 따른 AlN 박막의 결정학적 특성

김건희; 금민종; 김경환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김건희 금민종 김경환

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제26회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.2

수록면: 152 - 152 (1page)

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