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한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 태양에너지 제15권 제2호
발행연도
1995.9
수록면
91 - 99 (9page)

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분무열분해법으로 SnO₂박막을 증착하여 반응변수들이 증착에 미치는 영향을 연구하였다. 분무용액의 농도가 0.01M인 경우 증착온도가 낮을 때에는 증착과정이 표면반응의 지배를 받으며 증착온도가 증가함에 따라 400℃까지는 물질전달의 지배율이 증가한다. 400℃ 이상에서는 분무압력이 낮을 때는 물질전달의 지배율이 증가한다. 400℃ 이상에서는 분무압력이 낮을 때는 물질전달에 의해, 분무압력이 높을 때는 표면반응에 의해 지배를 받는다. 분무용액의 농도가 증가함에 따라 증착속도는 증가하였으며 본 실험의 경우 Rideal-Eley 기구에 의해 증착반응이 일어났다. 기판의 온도가 증가함에 따라 증착속도는 증가하다가 400℃ 이상에서는 균일한 핵생성에 의하여 증착속도는 감소하였다. 분무지속 시간에 비례하여 증착증의 두께는 증가하였으며 기판과 증착층간에는 물리적인 접착을 이루고 있다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 고찰

4. 결론

References

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