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증착변수에 따른 다이아몬드 박막특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
마이크로파 플라즈마 CVD 방법으로 Si, Inconel 600 및 Steel 모재위에 증착된 다이아몬드 박막의 증착특성
한국표면공학회지
1995 .06
LOW TEMPERATURE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD
한국표면공학회지
1996 .10
MPCVD에 의해 합성된 다이아몬드 박막 특성에 대한 증착조건의 영향
전기학회논문지 P
2002 .03
Diamond Synthesis on HPHT Diamond Substrate Using Microwave Plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
고속강도에 diamond 박막 증착시 interlayer의 효과에 관하여
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
RF 플라즈마 기상증착법에 의한 다이아몬드 박막 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
EFFECT OF SUBSTRATE BIAS ON THE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD
한국표면공학회지
1999 .06
펄스 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소박막 증착
한국자원리싸이클링학회 심포지엄
2003 .01
Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1991 .01
Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
1991 .08
RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .07
플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향
한국재료학회지
1994 .01
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