증착변수에 따른 다이아몬드 박막특성 연구

최지환 ,  박종완 ,  박정일 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

마이크로파 플라즈마 CVD 방법으로 Si, Inconel 600 및 Steel 모재위에 증착된 다이아몬드 박막의 증착특성

김현호 ,  김홍희 ,  이원종

한국표면공학회지

1995 .06

LOW TEMPERATURE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD

Yukihi ,  o SAKAMOTO ,  Matsufumi TAKAYA 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

MPCVD에 의해 합성된 다이아몬드 박막 특성에 대한 증착조건의 영향

李秉洙 ,  李悳出

전기학회논문지 P

2002 .03

Diamond Synthesis on HPHT Diamond Substrate Using Microwave Plasma CVD

Masataka Yoshiha ,  a ,  Yukihi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

고속강도에 diamond 박막 증착시 interlayer의 효과에 관하여

최진일 ,  정연진 ,  이건영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

RF 플라즈마 기상증착법에 의한 다이아몬드 박막 제조

김경례 ,  김용진 ,  현준원

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 ,  손영웅 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

EFFECT OF SUBSTRATE BIAS ON THE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD

Yukihi ,  o SAKAMOTO ,  Matsufumi TAKAYA

한국표면공학회지

1999 .06

펄스 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소박막 증착

임호병 ,  김동선 ,  이기선

한국자원리싸이클링학회 심포지엄

2003 .01

Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구

박영수 ,  김성훈 ,  이조원

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie Young Choi ,  Byung Ki Sohn

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .01

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie-Young Choi ,  Byung-Ki Sohn

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .08

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향

김영진 ,  김형준

한국재료학회지

1994 .01