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XeCl 엑시머 레이저를 횡방향의 전자빔으로 여기하여 이의 출력특성을 조사하였다. 전자빔의 출력은 880 ㎸, 21 ㎄(70ns, FWHM) 이며 전자빔의 전류밀도는 다이오드(A-K) 간격과 공진기 외부에 설치한 펄스자계코일(4.7 kG)로 제어하였다. 레이저 매질에 주입되는 전자빔의 축적에너지는 35J(4기압)이다. 축적에너지는 Radcolor film의 감광면적과 압력상승법에 의해 측정한 가스매질의 상승압력으로부터 환산된 수치이며, 이 때의 여기체적은 320㎤이었다. 레이저 가스의 혼합비율은 HCl/Xe/Ar=0.2/6.3/93.5%이고 총압력이 3기압일 때, 최대효율 1.7%를 얻었다. 이 때의 출력에너지, 특성에너지는 각각 0.52J, 1.7J/l이었다. 실험결과의 분석을 위해 컴퓨터 시뮬레이션코드를 완성하였다. 시뮬레이션 결과는 실험결과와 잘 부합하고 있음을 확인하였고, 그 결과를 이용하여 XeCl*의 형성채널, 완화채널, 308㎚의 흡수채널을 이론적으로 설명하였다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험장치
Ⅲ. 출력특성
Ⅳ. 컴퓨터 시뮬레이션 결과와 실험데이타의 비교
Ⅴ. 결론
참고문헌
Abstract
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