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대한전자공학회 전자공학회논문지-IE 전자공학회논문지 IE편 제43권 제2호
발행연도
2006.6
수록면
11 - 15 (5page)

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FPD (flat panel display) 의 능동구동 (active matrix) 방식의 플렉시블 디스플레이를 위해 PES의 플라스틱 기판위에 극저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터를 제작하였다. 상온에서도 박막의 증착이 가능한 RF 마크네트론 스퍼터링과 양질의 다결정 실리콘 박막을 얻을 수 있다고 알려진 XeCl 엑시머 레이져 열처리를 이용하였으며 모든 공정이 150℃ 이하의 극저온에서 이루어졌다. 플라스틱 기판에 형성한 실리콘 박막 트랜지스터는 344 mJ/㎠의 에너지 밀도에서 결정화 하였을 때 이동도 63.64㎠/V 로 기판에 회로를 집적할 수 있기에 충분한 특성을 얻을 수 있었다.
#Excimer laser annealing #poly-Si #plastic substrates #mobility #결정화

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
참고문헌
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