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한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 학술대회논문집 한국태양에너지학회 2000 춘계학술발표대회 논문집
발행연도
2000.6
수록면
29 - 36 (8page)

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Highly conducting and transparent indium tin oxide (ITO) thin films were deposited on microscope cover glass by ion beam sputtering for the window layer of CdS/CdTe solar cells. The substrate temperature and ion beam energy were controlled for the deposition of high quality ITO films in two cases of Ar ion sputtering and Ar+O₂ ion sputtering. Due to the ion beam sputtering, ITO films which has the resistivity of 1.5 × 10-⁴ Ω㎝ and 83% transmittance in visible wavelength range at 100 ℃ substrate temperature.

목차

Abstract

1. Introduction

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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