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대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.19 No.11[Special Edition]
발행연도
2005.11
수록면
2,165 - 2,171 (7page)

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We have modeled most errors, which affect the measurement accuracy, with Jone’s matrix. From the simulation, we can characterize the errors and take good aids for selecting components and designing ellipsometer. The traditional residual method has good performance when there are only azimuth angle errors and extinction errors, but it has not good performance when there are other errors. We have proposed the optimal calibration method for overcoming the residual method. The optimal method selects error values to have the least square difference between the measured thickness and the simulated thickness. We can reduce the design variables to three, incident angle error, and azimuth angle errors of polarizer and analyzer. The optimization results are slightly different from the residual method, and have smaller standard deviation of errors than the residual method. The experiment shows good agreement with the simulations.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Modeling of Errors

3. Analysis of Errors

4. Optimization Method

5. Conclusions

References

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
Adams, J. R. and Bashara, N. M., 1976, "In Process Ellipsometer Azimuth Angle Calibration," Appl. Opt., 15, pp.3179~3184. google schola Aspnes, D. E. and Studna, A. A., 1971, "Geometrically Exact Ellipsometer Alignment," Appl. Opt., 10, pp. 1024~1030. google schola Aspnes, D. E. and Studna, A. A., 1975, "High precision scanning ellipsometer," Appl. Opt., 14, pp.220~229. google schola Azzam, R. M. and Bashara, N. M., 1977, Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland, Amsterdam, 1977), Chap. 5, pp.364~411. google schola Collins, R. W., 1990, “ Automatic Rotating Element Ellipsometers : Calibration, Operation, and Real-Time Applications," Rev. Sci. Instrum., 61, pp.2029~2062. google schola

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