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3-Gun 고주파 마그네트론 스퍼터링법에 의해 [Ni / Fe / Cu] 다층박막과 [Fe / Ni / Fe / Cu] 다층박막을 제조하고 Ni / Fe 두께비에 따른 자기저항특성을 조사하였다. 열처리에 의한 효과를 관찰하기 위하여 진공열처리를 행하였다. 두 종류의 다층박막에서 사잇층 Cu 두께에 따른 자기저항의 진동 현상을 관찰할 수 있었다. Ni과 Cu의 계면에 삽입된 Fe 두께가 약 3 Å 일때 자기저항이 극대값을 보였으며, Fe 두께가 1~2 Å 일때 자기저항은 이에 비해 크게 감소하지 않았으나, 포화자장은 현저히 감소하는 것으로 나타났다. [Fe(1 Å) / Ni(18 Å) / Fe (1 Å) / Cu(23 Å)]_(20) / Fe(80 Å) / Si 시편의 경우, 100 Oe의 포화자장에서 6%의 자기저항을 얻을 수 있었다. 열처리에 의해서는 자기저항이나 포화자장의 큰 변화를 관찰할 수 없었으며, 합금상 형성 여부는 확인할 수 없었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract
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