[Co / Fe / Cu]20 다층박막의 자기저항 특성

이장로

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이장로

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제6권 제6호

발행연도: 1996.12

수록면: 411 - 416 (6page)

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본 연구에서는 dc magnetron sputtering 방법으로 Corning glass 위에 자성층 Co와 비자성층 Cu의 계면에 얇은 Fe 자성층을 삽입하여 다층박막 Fe(50 Å)/[Co(17 Å)/Fe(t Å)/Cu(24 Å)]_(20)을 제작하고 Fe 두께와 열처리 온도에 따른 자기저항 변화를 관찰하였다. 시료진동형자기계로 자기이력곡선을 측정하여 자기적 성질을 조사하였고 구조 및 표면 분석을 위해 각각 X-선 회절장치와 AFM(Atomic Force Microscope)을 이용하였다. 얇은 Fe 사이층을 삽입하지 않은 Co/Cu 다층박막에서 자기저항비가 22%인데 비해 얇은 Fe 층을 삽입하였을 때는 자기저항비가 26%까지 증가하였고 Fe 사이층의 두께가 점차 두꺼워짐에 따라 자기저항비는 다시 감소함을 나타냈다. 300 ℃ 까지 열처리한 결과 자기저항비는 증가하였으나 그 이상의 온도에서는 감소하였다.

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