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연자성 자유자성층과 피속박자성층을 각각 2중층 Ni_(81)Fe_(19)/Co_(90)Fe_(10)와 Co_(90)Fe_(10)로 하고, 반강자성 속박층을 NiO로 하는 NiFe/CoFe/Cu/CoFe/NiO 구조를 갖는 spin-valve 박막을 sputtering 방법으로 유리기판위에 제작하고, 자기저항비(MR), 자기장감응도(field sensitivity), 반강자성층과 피속박자성층사이의 교환결합 자기장(exchange coupling field), 자유자성층과 피속박자성층사이의 층간결합자기장(interlayer coupling field) 등의 비자성 사이층 Cu 두께, 자유자성층두께, 피속박자성층 두께 및 반강자성층 두께 의존성을 조사하였다. 2중층 자유자성층에 연자성 NiFe가 20 Å 이상 포함됨으로써 10 Oe의 보자력을 가져 연자성특성을 향상시키는 것을 확인할 수 있었다. Cu의 두께가 30 Å 일 때 극대 MR비를 가졌으며 두께증가에 따라 감소하는 경향을 보였다. 피속박자성층 CoFe의 두께가 35 Å 일 때 극대 MR비 6.3 %를 나타내며 두께증가에 따라 감소하며 교환결합자기장도 CoFe 두께가 증가함에 따라 감소하였다. NiO 두께가 800 Å 일 때 극대 MR비를 보이며 교환결합자기장은 두께증가에 따라 50 Oe 정도로 포화되어 NiO가 반강자성특성을 유지하기 위해서는 일정한 두께이상이 되어야 함을 알 수 있었다. 열처리온도 200℃ 까지는 MR비 5.3 %를 유지하다 이보다 높아지면 점점 감소하여 300 ℃에서도 약 3% 정도를 유지하여 열적 안정성이 향상되었다. 따라서 CoFe 합금을 사용하여 NiFe(40 Å)/CoFe(50 Å)/Cu(30 Å)/CoFe(35 Å)/NiO(800 Å) 구조를 갖는 spin-valve 박막은 극대 MR 비 6.3%, 유효자기장감응도 약 0.5 (%/Oe)를 보여 spin-valve head 재료로 적합함을 알 수 있었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract
참고문헌 (0)
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