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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제8권 제4호
발행연도
1998.8
수록면
216 - 223 (8page)

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DC magnetron sputtering 방법에 의해 Coming glass 기판 위에 제작한 buffer / [CoFe / Cu]_N 형태의 다층박막에 대하여 자기저항비의 비자성층 Cu 두께, 기저층 종류(Fe, Cu, Cr, Ta)와 두께, Ar 압력, 다층 층수 및 열처리 의존성을 조사하였다. 자기저항비는 비자성층 Cu 두께에 따라 진동하였다. 기저층 Fe 및 Cr의 두께가 60 Å이고, 층수 N=15, Ar 압력 5 mTorr에서 극대자기저항비 14%를 보였으며 250 ℃까지의 시료에 대한 열처리는 다층박막의 주기성을 유지한 채 더 큰 결정립을 갖게 하여 자기저항비는 증가하였으나 그 이상의 온도에서는 계면 혼합 및 계면 확산에 의한 감소를 나다내었다. Cr 기저층 시료가 Fe 기저층 시료보다 열적안정성이 더 좋은 것을 알 수 있었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험 방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

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