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절연층으로 Al₂O₃를 사용한 스핀의존성 터널링 접합에서 절연층의 두께가 자기저항특성에 미치는 효과에 대해 조사하였다. 스핀 의존성 터널링 접합은 3-gun 스퍼터링 시스템에서 4° tilt-cut (111)Si 기판 위에 증착하였다. 절연층으로 사용된 Al₂O₃는 Al을 1~3 ㎚로 증착한 후에 대기중에서 자연산화시켜 얻었고, 상부와 하부 강자성체 전극은 NiFe와 Co를 사용하였다. 자기저항비는 절연층의 두께가 2 ㎚인 터널링 접합에서 약 14 %로 최대값을 보였고 접합에 걸리는 터널링 전압이 증가함에 따라 최대 자기저항비는 급격히 감소하는 경향을 보였다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 토의
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract
참고문헌 (0)
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