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본 연구에서는 Hexagonal Barium Ferrite(BaM) 박막을 RF magnetron sputtering system을 이용하여 상온에서 증착한 후, 850℃에서 열처리하여 결정화하였다. XRD pattern을 통해 BaM 박막의 working pressure 10 mTorr에 대한 산소분압(Po₂)을 0~3 mTorr까지 변화하여 알아본 결과, 1 mTorr 이하의 산소분압(Po₂)에서는 spinel 상과 BaM 상이 함께 형성되었으나, 1 mTorr 이상의 높은 산소분압(Po₂)에서는 BaM 상만이 형성되는 것을 알 수 있었다. BaM 박막의 자기적 특성을 VSM을 통하여 알아본 결과 산소분압(Po₂)이 증가함에 따라 수직보자력은 일정하게 감소를 하였으나 포화자화 값은 1 mTorr까지 증가하다 감소하였다. 열처리 시간에 따른 결정화 정도와 특성을 알아본 결과 열처리를 시작한 뒤 10분 이내에 대부분의 특성변화가 일어났으며, 그 이상의 온도에서는 커다란 변화를 일으키지 않음을 알 수 있었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract
참고문헌 (1)
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