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저널정보
한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 조명·전기설비학회논문지 제13권 제3호
발행연도
1999.8
수록면
40 - 47 (8page)

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본 연구에서 개발하고자 하는 저에너지 대면적 전자빔 발생장치는 원리로서 발생원인 글로우 방전에 의한 플라즈마로부터 이온을 음극으로 가속, 충돌하게 하여 그때 발생하는 2차전자를 전자빔원으로 하여 전자를 가속·제어하는데 바탕을 두고 있으며, 본 연구에서는 이러한 원리를 기본으로 이론적 해석을 통한 고효율의 저에너지 대면적 전자빔 발생장치개발의 설계 및 제작에 대해서 연구하였으며, 또한 빔 에너지의 안전성과 방전조건을 고려한 최적의 방전 파라메타를 설정하여 대면적의 균일한 빔 인출을 가능케 하였다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 전자빔 발생장치 및 가속원리
3. 최대 빔 인출을 위한 이론적 해석 및 Foil 설계
4. 전자빔 소스용 글로우 방전부 및 냉음극 설계
5. X-RAY 차폐설계
6. 전자빔 인출실험
7. 결론
참고문헌
◇ 저자소개 ◇

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