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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.17 No.5
발행연도
2008.10
수록면
52 - 57 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (11)

2009

집속 렌즈의 초점 거리 변화에 대한 프르브 전류 분석
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자총의 전압 측정
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 영상 획득에 필요한 구성 요소 구현
임선종 ,  이찬홍 한국레이저가공학회지 2009.01 학술저널

2008

주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프르브 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료
주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프로브 전류의 차단
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회지 2008.10 학술저널
주사 전자 현미경에서 빔 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료
주사 전자현미경에서 프르브 전류의 측정
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.05 학술대회자료

2007

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 소프트웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.11 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.10 학술대회자료

2006

전자 현미경의 제어 신호 체계의 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Most of the electrons emitted from the filament, are captured by the anode. The portion of the electron current that leaves the gun through the hole in the anode is called the beam current. Electron beam probe is called the focused beam on the specimen. Because of the lenes and aperture, the probe current becomes smaller than the beam current. It generate various signals(backscattered electron, secondary electron) in an interaction with the specimen atoms. Backscattered electron provide an useful signal for composition and local specimen surface inclination. Secondary electron is used for the formation of surface imagination. The steady electron beam probe is very important for the imagination formation and the brightness. In this paper, we show the results of developed elements that create electron beam probe and the measured beam probe in various acceleration voltages by Faraday cup. These data are used to analysis and improve the performance of the system in the development.
#주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscopy) #전자빔(Electron beam) #빔 전류(Beam current) #전자빔 프르브(Electron beam probe) #후방산란전자(Back scatter electron) #이차전자(Secondary electron) #접속 렌즈(Condenser lens) #대물 렌즈(Objective lens) #패러데이 컴(Faraday cup) #고전압 발생기(High voltage generator)

목차

Abstract
1. 서론
2. 전자빔 발생과 프르브 생성을 위한 구성 요소
3. 구성 요소 제작
4. 프르브 전류 측정 및 분석
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Joseph, I. G. / 1992 / Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis / Plenum Press : 21 ~ 272 google schola 2. [단행본] - John, T. L. / 1993 / ELECTRON BEAM TESTING TECHNOLOGY / Plenum Press : 129 ~ 147 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Fritz, J. H. / 1986 / Background and application of electron beam test techniques 4 : 139 ~ 157 google schola 4. [단행본] - Sunjong, L. / 2006 / Design of Control Signal Systemization for SEM / KSMTE : 97 ~ 100 google schola 5. [단행본] - / 2006 / Design Specification for a 30 kV Electron Gun Power Supply / Spellman google schola

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