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한국조명·전기설비학회 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 한국조명·전기설비학회 1997년도추계 학술발표회논문집
발행연도
1997.11
수록면
52 - 54 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 계측에 관한 연구
하장호 ,  전용우 ,  최상태 외 2명 조명·전기설비학회논문지 1999.11 학술저널

1997

고주파 유도 결합 플라즈마의 자기장 계측에 관한 연구
하장호 ,  전용우 ,  전재일 외 4명 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 1997.11 학술대회자료

초록· 키워드

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고주파 유도결합 플라즈마(RFICP)에서 루우프법에 의해 자기장특성을 계측하였다. 자기장 계측은 플라즈마의 거시적 변화를 시간적으로 접근하여, 반도체 프로세스의 관건인 균일하고, 고집적인 분포를 얼마나 교란, 응집하는가를 검증하고, 밀도와의 관계를 비교, 분석하여 방적의 최적화를 규명 할 수 있을 것이다. 작은 루우프 안테나(Φ:외경 7.5mm)는 RF 자기장의 크기와 방향을 결정하기 위해 방전속에 삽입된다. 자기장의 세기는 전형적으로 입력파워 50 - 500 [W]에 대해 0.1에서 2.5 G 사이로 변화하였다. 사용가스는 아르곤가스(99.9% 고순도)를 사용하였으며, 동작압력은 20 [mTorr] 에서 90 [mTorr]로 하였고, 아르곤 가스유량변화는 3 [sccm] 에서 1 ... 전체 초록 보기

목차

요약
1. 서론
2. 실험장치 및 측정방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
[참고문헌]

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