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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1999.11
- 수록면
- 46 - 52 (7page)
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Laser diagnostics have been extensively used to understand plasma behaiviour under different discharge conditions. Measurements were performance for (ⅰ) electric field, (ⅱ) electron temperature and density, and (ⅲ) reaction products due to chemical reactions by electron impacts. The knowledge thus gained has been extensively used to realize novel plasma performances, such as epitaxial thin film depositions using plasma sputtering, performance improvements of discharge-pumped excimer lasers, and developments of environmental equipment.
Abstract
Abstract
목차
Abstract
1. Introduction
2. The implication of the present Si epitaxial growth
3. Researches to the present project
4. Experimental procedures and results
5. Discussion
6. Conclusions
References
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