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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제30권 제7호
발행연도
2006.7
수록면
773 - 778 (6page)

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High-aspect-ratio nano-hair or nano-pillar arrays have great potential in a variety of applications. In this study, we present a simple and cost-effective replication method of high-aspect-ratio polymer nano-hair arrays. Highly ordered nano-porous AAO (anodic aluminum oxide) template was utilized as a reusable nano-mold insert. The AAO nano-mold insert fabricated by the two-step anodization process in this study had close-packed straight nano-pores, which enabled us to replicate densely arranged nano-hairs. The diameter, depth and pore spacing of the nano-pores in the fabricated AAO nano-mold insert were about 200nm, 1?m and 450nm, respectively. For the replication of polymer nano-hair arrays, a UV nano embossing process was applied as a mass production method. The UV nano embossing machine was developed by our group for the purpose of replicating nano-structures by means of non-transparent nano-mold inserts. Densely arranged high-aspect-ratio nano-hair arrays have been successfully manufactured by means of the UV nano embossing process with the AAO nano-mold insert under the optimum processing condition.
#Anodic Aluminum Oxide(AAO #양극 산화 알루미늄) #High-Aspect-Ratio(고종횡비) #Nano-Hair(나노 섬모) #Nano-Mold Insert(나노 금형 인서트) #Nano-Pillar(나노 기둥) #UV Nano Embossing(UV 나노 엠보싱)

목차

Abstract
1. 서론
2. AAO 나노 금형 인서트 제작
3. 나노 섬모 어레이 성형을 위한 UV 나노 엠보싱 공정
4. 결과 및 토론
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (12)

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Xia, Y. and Whitesides, G.M., 1998, “Soft Lithography,” Angew. Chem. Int. Ed., Vol. 37, pp. 550~575. google schola Chou, S. Y. Krauss, P. R. and Renstrom, P. J., 1996, “Nanoimprint Lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B, Vol. 14, pp. 4129~4133. google schola Haisma J., Verheijen M., van den Heuvel, K. and van den Berg, J., 1996, “Mold-Assisted Nanolithography: A Process for Reliable Pattern Replication,” J. Vac. Sci. Technol. B, Vol. 14, pp. 4124~4128. google schola Geim A. K., Dubonos S. V., Grigorieva I. V., Novoselov K. S., Zhukov A. A. and Shapoval S. Y., 2003, “Microfabricated Adhesive Mimicking Gecko Foot-Hair,” Nat. Mater., Vol. 2, pp. 461~463. google schola Sitti M. and Fearing R. S., 2003, “Synthetic Gecko Foot-Hair Micro/Nano-Structures as Dry Adhesives,” J. Adhes. Sci. Technol., Vol. 17, pp. 1055~1073. google schola

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