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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2009 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
456 - 459 (4page)

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Anodic Aluminum Oxidation (AAO) process is widely used as a template or a mold mask of potential applications such as carbon nano tube (CNT), nano rod and nano dots. Different from conventional patterning methods such as e-beam, FIB and photolithograph, AAO has been known that it is possible to fabricate highly ordered nano-patterns on large area. In this study, we introduce a novel anodizing method, which is used low temperature and high voltage. Using LTHY anodizing method, we can obtain a porous alumina membrane with various inter-pore distance and pore diameter. In order to evaluate our porous alumina membrane, various nano-patterns were replicated by using embossing system with various experimental conditions such as pressure, temperature and processing time. Finally, nano pillar arrays can be successfully obtained on PMMA.

목차

Abstract
1. 서론
2. 나노마스터 제작
3. 핫 엠보싱 공정을 이용한 나노패턴 전사
4. 결론
후기
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