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한국자동차공학회 한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집 한국자동차공학회 2004년 춘계학술대회 논문집 Volume Ⅲ
발행연도
2004.6
수록면
1,438 - 1,443 (6page)

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This paper presents a macro/micro flip chip mounting head system for precise force control. In the proposed macro/micro system, the macro actuator is conventional de servo motor with a ball screw mechanism and the micro actuator is a voice coil motor(VCM) that consists of four NdFeB magnets and a winded moving coil. For force control, a sensitive strain-gauge force sensor is mounted in the micro actuator. Through harmonic motion between macro and micro actuator, we would like to get precise contact force control when small sized flip chip is mounted on flexible substrate in high speed. In order to show the effectiveness of the proposed macro/micro flip chip mounting head system, we compared the proposed surface mounting head with the chip mounting head that is equipped with only macro actuator. Various experiments are executed in the mounting condition of various access velocity using hybrid position and force control.
#flip chip(플립칩) #Mounting(마운팅) #Head-mechanism(헤드메커니즘) #Force Control(힘제어) #Impact Control(충격력제어) #Voice Coil Motor(보이스코일모터)

목차

Abstract
1. 서론
2. 플립 칩 마운팅 헤드 메커니즘 설계
3. 마이크로 액츄에이터의 특성
4. 마운팅 힘 제어
5. 결론
Acknowledgement
References

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