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한국전자파학회 한국전자파학회논문지 韓國電磁波學會論文誌 第18卷 第5號
발행연도
2007.5
수록면
530 - 538 (9page)

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본 논문에서는 표준 디지털 0.18 ㎛ CMOS 공정을 기반으로 하는 RF 집적회로 설계를 위해 인덕터 라이브러리를 개발하였다. 개발된 인덕터 라이브러리에는 일반적인 표준(standard) 구조의 인덕터를 비롯하여, PGS(Patterned Ground Shield)를 적용하여 Q 지수를 향상시킨 인덕터, 금속선의 직렬 저항을 줄임으로써 Q 지수를 향상시킨 다층금속선(multilayer) 인덕터, 같은 면적에서 높은 인덕턴스 구현에 유리한 적층형(stacked) 인덕터 등을 포함한다. 본 논문에서는 각 인덕터 구조에 대하여 측정 결과와 3차원 전자기파 시뮬레이션 결과를 바탕으로 한 특성 해석 및 비교 분석을 하였고, 각 구조에 대한 등가회로 모델 확립 및 추출 과정도 연구하였다. 본 연구의 결과를 바탕으로 여러 설계 요구 사항을 만족시키는 최적의 인덕터 설계가 가능해졌으며 표준 CMOS 공정을 이용하는 저가의 RF 집적회로 개발이 가능해진다.
#Inductor #Quality Factor #RF Integrated Circuit

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 인덕터 구조 설계 및 측정 결과
Ⅲ. 등가회로 및 전자기파 해석
Ⅳ. 5-㎓ VCO 적용
Ⅴ. 결론
참고문헌

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