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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
15 - 18 (4page)

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In recent years, a demand for micro-structure machining is increasing by the development of information and optics industries. Micro machining technology is in general well known in the field of lithograghy. However, the requirement of producing micro machine and/or micro mechanism with metal materials will be increased since a variety of workpiece configurations can be easily made.
In this paper, ultra precision machine is developed to obtain micro groove and mirror surface using single crystal diamond tool. According to the cutting experiment, no burr was found at the edge of V-grooves, and the surface roughness of copper is about 1~3㎚ Ra. It is verified that ultra precision machine is effective to high precision machining.
#ultra precision machine(초정밀 미세가공기) #air guide(공기정압 베어링) #micro groove(미세 그루브) #high precision machining(초정밀 가공) #mirror surface(경면 가공)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 초정밀 가공기 제작
3. 미세가공 실험
4. 결론
참고문헌

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