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저자정보
이정한 (부산대학교) 오재용 (부산대학교) 박상후 (부산대학교) 남기중 (젯텍) 류광현 (젯텍) 신석훈 (젯텍) 신보성 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.10
발행연도
2010.10
수록면
29 - 33 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

변형률 속도 효과를 고려한 355㎚ UV 레이저 다중 펄스 미세가공의 전산해석에 관한 연구
이정한 ,  오재용 ,  박상후 외 4명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2010.10 학술저널
변형률 속도 효과를 고려한 355 ㎚ UV 레이저 구리재질의 싱글 펄스 전산해석
이정한 ,  오재용 ,  박상후 외 1명 한국기계가공학회지 2010.06 학술저널
355 ㎚ UV 레이저 다중 펄스 구리재질 미세가공의 전산해석에 관한 연구
이정한 ,  오재용 ,  박상후 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.05 학술대회자료

초록· 키워드

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UV laser micromachining of metallic materials has been used in microelectronic and other industries. This paper shows on experimental investigation of micromachining of copper using a 355㎚ UV laser with 50㎱ pulse duration. A finite element model with high strain rate effect is especially suggested to investigate the phenomena which are only dominated by mechanically pressure impact in disregard of thermally heat transfer. In order to consider the strain rate effect, Cowper-Symonds model was used. To analyze the dynamic deformation during a very short processing time, which is nearly about several tens nanoseconds, a commercial Finite Element Analysis (FEA) code, LS-DYNA 3D, was employed for the computational simulation of the UV laser micro machining behavior for thin copper material. From these computational results, depth of the dent (from one to six pulsed) were observed and compared with previous experimental results. This will help us to understand interaction between UV laser beam and material.
#UV Laser (UV 레이저) #Multiple Pulses (다중 펄스) #FEA (유한요소 해석) #Strain Rate (변형률 속도) #Copper (구리)

목차

1. 서론
2. 유한요소 해석모델
3. 전산해석 결과
4. 결론 및 향후 연구
후기
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