헤테로다인 레이저 간섭계에서 고속 측정을 위한 주파수 변조 알고리즘

최현승; 윤희선; 박기환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최현승 윤희선 박기환

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2005.10

수록면: 928 - 931 (4page)

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This article describes a FM modulation algorithm to increase the measurement speed by increasing the beat frequency of the laser without acousto-optic modulator(AOM) in the heterodyne laser interferometer. The proposed algorithm can increase the beat frequency of the heterodyne laser which limit the measurement speed by adjusting a carrier frequency through electronic circuit, while AOM is used to shift the frequency of the heterodyne laser in conventional method. Electronic circuit is constructed to modulate the signals from a laser interferometer and a waveform generator. The brief analysis, the measurement scheme of the system, and the experimental results using a Zeeman-stabilized He-Ne laser are presented. They demonstrate that the proposed algorithm is proven to enhance the measurement speed limit by increasing the beat frequency of the heterodyne laser.

#heterodyne Laser Interferometer(헤테로다인 레이저 간섭계) #High speed measurement(고속 측정) #FM Modulation(주파수 변조)

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