분산형 백색광 간섭계를 이용한 미세 박막 구조물의 삼차원 두께 형상 및 굴절률의 실시간 측정

김영식; 김승우

추천

검색

질문

자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김영식 김승우

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집

발행연도: 2006.5

수록면: 23 - 24 (2page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (7)

2014

자유 곡면 형상 측정을 위한 백색광 주사 간섭계의 정확도 향상 및 시스템 오차 분석

김영식 , Angela Davies , 이혁교 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014.07 학술저널

파장주사 층밀리기 간섭계를 이용한 자유곡면의 삼차원형상 측정

김영식 , 이혁교 , 이주형 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.05 학술대회자료

2011

백색광 간섭계의 응용 및 정확도 향상

김영식 , 이윤우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료

파장주사간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼의 절대 두께 측정

김영식 , Angela Davies , 이윤우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.06 학술대회자료

2006

분산형 백색광 간섭계를 이용한 미세 박막 구조물의 삼차원 두께 형상 및 굴절률의 실시간 측정

김영식 , 김승우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

2005

편광 분리 분산형 백색광 간섭계를 이용한 박막 두께 형상 측정법

김영식 , 김승우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

2004

백색광주사간섭계에서 편광을 고려한 반사시 위상 변화에 대한 연구

김영식 , 김승우 한국광학회지 2004.08 학술저널

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

We present a dispersive scheme of white-light interferometry that enables not only to perform tomographical measurements of thin-film layers but also to measure a refractive index without mechanical depth scanning. The interfero ... 전체 초록 보기

#dispersive white-light interferometry(분산형 백색광 간섭계) #volumetric thickness profile of thin-film layers(삼차원 박막 두께 형상) #refractive index(굴절률)

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

김영식

소속기관 대구경북과학기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1% 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학

논문수 198 이용수 15,340

Seung-Woo Kim

소속기관 한국과학기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5%

논문수 321 이용수 19,846

이 논문과 함께 이용한 논문

간섭장치를 위한 안정된 폐간섭무늬 검출 기법

이동열 , 고윤호 대한전자공학회 학술대회 2008 .11

디지털 홀로그래피를 이용한 포토리소그래피 공정 제품 패터닝의 폭과 단차 측정

신주엽 , 강성훈 , 마혜준 외 5명 비파괴검사학회지 2016 .02

Study of Adhesion according to Various Surface Treatments for Lithium Ion Secondary Battery Pouch Film

김도현 , 배성우 , 조정민 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2016 .03

광간섭계를 이용한 대형유리기판의 고속 두께 측정 기술

배재석 , 박정재 , 진종한 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 .12

투과형 디지털 홀로그래피 시스템을 이용한 ITO 박막의 결함 측정

정현일 , 신주엽 , 마혜준 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 .10

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016747349

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (7)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)