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이용수
2014
2011
2006
ABSTRACT
1. 서론
2. 기본 이론
3. 측정 결과
4. 결론
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Spectrally Resolved Phase Shifting Interferometry for Film Thickness and Surface Profiling
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
백색광 간섭계의 응용 및 정확도 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
박막의 두께형상 및 굴절률 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .11
백색광 간섭계를 이용한 TSV Bottom CD 측정 방법에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
대면적 미세 형상의 측정/검사 시스템
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .05
저 배율 렌즈를 이용한 Wafer 검사용 백색광 주사간섭계의 대면적 광학계 구성과 알고리즘 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
자유 곡면 형상 측정을 위한 백색광 주사 간섭계의 정확도 향상 및 시스템 오차 분석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2014 .07
백색광 간섭계에서 광원에 따른 측정 효과
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .05
실시간 3D 형상 측정을 위한 층밀리기 간섭계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭성 백색광 주사 간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
백색광 주사 간섭법을 이용한 대영역 측정법
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
LCD 부품 검사를 위한 백색광 주사 간섭계(White light Scanning Interferometry) autofocusing 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
근적외선을 이용한 실리콘 웨이퍼의 두께, 굴절률 3D 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
광간섭계를 이용한 대형유리기판의 고속 두께 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
반도체 불량 검사를 위한 백색광 간섭계의 고속화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
두 간섭계를 이용한 광학식 형상 측정법
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2018 .04
백색광 간섭계의 위상 정점 알고리즘에서 조명에 따른 위상 정점 모호성에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .01
백색광 간섭계를 이용한 LCD Glass 의 Pole 높이 측정 검사
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .04
백색광 간섭계 구도를 사용한 넓은 파장 영역에서의 열광학계수 측정 방법
한국통신학회 기타 간행물
2009 .12
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