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백색광 간섭계의 응용 및 정확도 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
다파장 간섭계에서의 파장선택방법
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .11
백색광 간섭계를 이용한 TSV Bottom CD 측정 방법에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
백색광 간섭계를 이용한 LCD Glass 의 Pole 높이 측정 검사
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .04
저 배율 렌즈를 이용한 Wafer 검사용 백색광 주사간섭계의 대면적 광학계 구성과 알고리즘 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭성 백색광 주사 간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
자유 곡면 형상 측정을 위한 백색광 주사 간섭계의 정확도 향상 및 시스템 오차 분석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2014 .07
대면적 미세 형상의 측정/검사 시스템
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .05
LCD 부품 검사를 위한 백색광 주사 간섭계(White light Scanning Interferometry) autofocusing 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
백색광 주사 간섭계를 이용한 레이저 마크의 깊이 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .05
대면적 백색광 간섭계의 속도향상에 관한 연구
정보 및 제어 논문집
2011 .04
두 파장 고속 위상천이간섭계를 이용한 단차 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
정밀 삼차원 측정을 위한 백색광 간섭 광학 프로브 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
반도체 불량 검사를 위한 백색광 간섭계의 고속화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
분산형 백색광 간섭계를 이용한 미세 박막 구조물의 삼차원 두께 형상 및 굴절률의 실시간 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
백색광 간섭계에서 광원에 따른 측정 효과
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .05
백색광 간섭계의 위상 정점 알고리즘에서 조명에 따른 위상 정점 모호성에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .01
트와이만-그린 간섭계와 피조 간섭계를 이용한 광학 부품의 형상측정
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .04
파장주사간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼의 절대 두께 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
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