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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
501 - 502 (2page)

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In-plane type micro piezoelectric micro grippers with pneumatic lines for manipulation biological cells and micro parts were designed, fabricated, and characterized. Micro grippers were fabricated through the final micro-sanding process after wafer level bonding between the etched 4" Si wafer with pneumatic channels and 4" glass wafer. Di ... 전체 초록 보기
#Micro-gripper(마이크로 그리퍼) #piezoelectric(압전) #pneumatic(공압) #manipulation(조작)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과
4. 결론
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