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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제23권 제3호
발행연도
2006.3
수록면
163 - 170 (8page)

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Thin films play an important role in many technological applications including microelectronic devices, magnetic storage media, MEMS and surface coatings. It is well known that a thin film’s material properties can be very different from the corresponding bulk properties and thus there has been a strong need for the development of a miniature tester to measure the mechanical properties of a thin film. Two testers are designed and set up in small size of 62 ㎜ width, 20 ㎜ depth and 90-120 ㎜ height to fit in a chamber of scanning electron microscope (SEM). One tester has a homemade 0.2 N load cell and a low-priced electromagnetic actuator. The other has a commercial 5 N load cell, a 52 ㎛ piezoelectric actuator and some novel grips. Two types of 3.5 microns thick polysilicon specimen are tested to prove the testers’ applicability. The strain is measured by the two ways. Firstly, it is measured by an ISDG system in the atmosphere for the reference. Secondly, the same test is repeated in a SEM chamber to monitor the strain as an in-situ experiment. The strain is evaluated by observing the gap change between two markers.
#Elastic modulus(탄성계수) #In-situ(실시간) #ISDG(레이저간섭변위게이지) #Material tester(재료시험기) #Scanning electron microscope(주사전자현미경) #Thin-film(박막) #Piezoelectric actuator(압전작동기) #Polycrystalline silicon(다결정실리콘)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 재료 시험기 개발
3. 적용 예
4. 결론
후기
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