지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.11
- 수록면
- 1,448 - 1,452 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
A scratch tester was developed to evaluate the adhesive strength at interface between thin-film and
substrate(silicon wafer). Under force control, the scratch tester can measure the normal and the tangential
forces simultaneously as the probe tip of the equipment approaches to the interface between thin-film and
substrate of wafer. The capacity of each component of force sensor is 0.1 N ~ 100 N. In addition, the tester
can detect the signal of elastic wave from AE sensor(frequency range of 900 kHz) attached to the probe tip
and evaluate the bonding strength of interface. Using the developed scratch tester, the feasibility test was
performed to evaluate the adhesive strength of thin-film.
substrate(silicon wafer). Under force control, the scratch tester can measure the normal and the tangential
forces simultaneously as the probe tip of the equipment approaches to the interface between thin-film and
substrate of wafer. The capacity of each component of force sensor is 0.1 N ~ 100 N. In addition, the tester
can detect the signal of elastic wave from AE sensor(frequency range of 900 kHz) attached to the probe tip
and evaluate the bonding strength of interface. Using the developed scratch tester, the feasibility test was
performed to evaluate the adhesive strength of thin-film.
목차
Abstract
1.참고문헌
2. 연구 배경
3. 설계 및 제조
4. 측정 및 고찰
5.결론
후기
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
SCRATCH TESTERS ON THE APPLICATION TO THE ADHESION MEASUREMENT OF THIN COATINGS
한국표면공학회지
1996 .12
-
Ramp Loading Scratch 방법을 이용한 사용 HDD Media 와 ZnO 박막소재의 Scratch 특성에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2007 .11
-
Ramp Loading Scratch 방법을 이용한 상용 HDD Media와 ZnO박막소재의 Scratch 특성에 관한 연구
Tribology and Lubricants
2008 .04
-
2축 로드셀 기반 스크레치테스터의 제작 및 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
-
FAN TESTER의 성능 평가에 대한 연구
한국항공우주학회지
1993 .02
-
박막 재료 시험기 개발 및 응용
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .03
-
스크래치 시험을 통한 DLC 박막 파손과 밀착 특성 평가
Tribology and Lubricants
2017 .08
-
열전소자 원리를 이용한 부품 Tester용 온도공급 장치 연구 : 메모리 Device Tester용 온도제어장치 도입을 위한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .11
-
Solar Cells Characteristics Tester
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2000 .10
-
Solar Cells Characteristics Tester
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2000 .10
-
프린터 토너의 점착력 특성 및 평가 기법
정보저장시스템학회논문집
2009 .01
-
휴대용 무선형 경도계 개발
제어로봇시스템학회 논문지
2018 .12
-
Single Sheet Tester와 Ring Type 측정법의 측정결과 비교 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .04
-
수평 충격 시험기의 구조 건전성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .05
-
선형 유도 전동기의 회전형 시험기가 추력 특성에 미치는 영향
한국철도학회 학술발표대회논문집
2009 .05
-
열전소자 원리를 이용한 부품 Tester용 온도공급 장치 연구 : 메모리 Device Tester용 온도제어 장치도입을 위한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .11
-
Mechanical and Adhesive Properties of Plasma CVD Coatings on Various Substrates using Scratch Test
기타자료
2006 .09
-
메모리 반도체 검사 장비 인터페이스를 위한 크로스플랫폼 소프트웨어 기술
정보과학회 컴퓨팅의 실제 논문지
2015 .10
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-014218922