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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제23권 제6호
발행연도
2006.6
수록면
166 - 173 (8page)

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In this study, a probe array has been developed for use in a data storage device that is based on scanning probe microscope (SPM) and MEMS technology. When recording data bits by poling the PZT thin layer and reading them by sensing its piezoresponse, commercial probes of which the tip heights are typically shorter than 3㎛ raise a problem due to the electrostatic forces occurring between the probe body and the bottom electrode of a medium. In order to reduce this undesirable effect, a poly-silicon probe with a high aspect-ratio tip was fabricated using a molding technique. poly-silicon probes fabricated by the molding technique have several features. The tip can be protected during the subsequent fabrication processes and have a high aspect ratio. The tip radius can be as small as 15 ㎚ because sharpening oxidation process is allowed. To drive the probe, electrostatic actuation mechanism was employed since the fabrication process and driving/sensing circuit is very simple. The natural frequency and DC sensitivity of a fabricated probe were measured to be 18.75 ㎑ and 16.7 ㎚/V, respectively. The step response characteristic was investigated as well. Overshoot behavior in the probe movement was hardly observed because of large squeeze film air damping forces. Therefore, the probe fabricated in this study is considered to be very useful in probe-based data storages since it can stably approach toward the medium and be more robust against external shock.
#Scanning probe microscope(주사전자현미경) #Data storage(정보저장기기) #Polysilicon probe(폴리실리콘 프로브) #Molding(몰딩) #High-aspect-ratio tip(고종횡비 팁)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. EFM 기술을 이용한 정보 저장기기
3. 폴리 실리콘 정전 프로브의 설계 및 제작
4. 폴리 실리콘 정전 프로브의 구동 특성
5. 결론
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