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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.23 No.8
발행연도
2006.8
수록면
39 - 46 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

AFM 기반 Tribo-Nanolithography를 위한 초미세 다이아몬드 팁 켄틸레버의 제작
박정우 ,  이득우 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.08 학술저널

2005

AFM 부착형 초미세 다이아몬드 팁 켄틸레버의 제작 및 응용
박정우 ,  이득우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Nano-scale fabrication of silicon substrate based on the use of atomic force microscopy (AFM) was demonstrated. A specially designed cantilever with diamond tip, allowing the formation of damaged layer on silicon substrate by a simple scratching process, has been applied instead of conventional silicon cantilever for scanning. A thin mask layer forms in the substrate at the diamond tip-sample junction along scanning path of the tip. The mask layer withstands against wet chemical etching in aqueous KOH solution. Diamond tip acts as a patterning tool like mask film for lithography process. Hence these sequential processes, called tribo-nanolithography, TNL, can fabricate 2D or 3D micro structures in nanometer range. This study demonstrates the novel fabrication processes of the micro cantilever and diamond tip as a tool for TNL using micro-patterning, wet chemical etching and CVD. The developed TNL tools show outstanding machinability against single crystal silicon wafer. Hence, they are expected to have a possibility for industrial applications as a micro-to-nano machining tool.
#Atomic Force Microscopy(AFM, 원자간력현미경) #Diamond Tip(다이아몬드 팁) #Mask Layer(마스크 층) #Wet chemical etching(습식에칭) #Tribo-Nanolithography(TNL, 트라이보 나노리소그래피)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. TNL (Tribo-nanolithography)
3. TNL용 다이아몬드 팁의 제작
4. 다이아몬드 팁 켄틸레버를 사용한 TNL 프로세스에의 응용
5. 결론
후기
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