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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2004.11
수록면
181 - 185 (5page)

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This paper describes a nano pattern fabrication technique using the combination of nanometer-scale mechanical machining and wet etching First, single-crystal silicon is machined by using the AFM system, which attaches the manufacturing the cantilever and diamond tip. The material is machined according to AFM tip shape, scan rate and machining load Next, the material is etched by KOH solution After the etching process, the nano pattern is made

목차

Abstract

1. 서론

2. 가공 방법 및 장치

3. 나노 스크래치 가공

4. 결론

참고문헌

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