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자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제17권 제9호
발행연도
2000.9
수록면
75 - 80 (6page)

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ABSTRACT
1. 서론
2. 4축 자동 정렬 장치 개발
3. 정렬장치 적용 : XY 테이블 위치오차 측정
4. 결론
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